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SAKAGUCHI坂口電熱ベルライナーFBH210
耐薬品性、耐油性などに優れたフッ素ゴムで発熱体を被覆したベルトヒーターです。
加熱してもガスの発生が極めて少なく、クリーンルームでの使用に最適です。
特長
半導体プロセス配管系統の加熱、保温。
真空排気装置系統のベーキング。
LPC製造プロセス配管系統の加熱、保温。
工場配管の保温などでの使用。

発熱部外被材質 フッ素ゴム
発熱体 金属発熱体
リード線 フッ素樹脂被覆耐熱電線(100V用;黒色 200V用;灰色)
使用温度範囲 -50～180℃(ヒーター表面温度にて)
絶縁抵抗 100MΩ以上
耐電圧 1500V-1分間以上耐える
ガス発生状態 200℃30分間加熱後のガスをガスクロマトグラフ質量分析法で検出した結果、シロキサンの発生なし
※)仕様条件は、使用温度範囲でベルトヒーター全体を均一に放熱させた場合に限ります。
注意;表面温度350℃以上になるとフッ素ガスが発生することがあります。