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メーカー
> METROLメトロール
- 商品コード：
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GN-PT5M3A-R
10-5Pa
高真空度クラス対応!!
低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチです。
真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め用途で、大手半導体製造装置メーカーに続々と採用されています。
接点構造 接点形
動作形態 A:NO/B:NC
動作点の繰返し精度 ON⇄OFFとも 0.003mm(レンジ)
対応真空度/ベーキング許容温度 10-5Pa / 120℃
動作までの動き 約0.3(A:NO)/なし(B:NC)
応差 0
接点精度寿命 300万回
ストローク 1.5mm
接触力 0.5N
接点定格 DC5V〜DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下)
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